загрузка...
 
15 Методи одержання гідрогенезованих аморфних С:Н плівок
Повернутись до змісту

15 Методи одержання гідрогенезованих аморфних С:Н плівок

Як раніше відмічалось, особливістю вуглецю є наявність декількох алотропних кристалічних модифікацій з різною координацією атомів і, як наслідок цього, з різко відмінними фізичними властивостями. Оскільки вуглецеві плівки можуть конденсуватися і в аморфну фазу (а-С), то природно, що вони також є об’єктами інтенсивних досліджень. Не менш цікавими об’єктами є різновид а-С плівок, т.зв. аморфні гідрогенезовані АПП (а-С:Н). Вони мають унікальні фізичні та фізико-хімічні властивості: висока оптична прозорість, велика мікротвердість, можливість використовувати як захисті покриття в опто- та мікроелектроніці та ін.

Властивості а-С:Н дуже істотно залежать від методу отримання та технологічних параметрів осадження. Зокрема, методом іонно-плазмового розпилення можна отримати плівки товщиною 0,05-0,2 мкм для інфрачервоної спектроскопії (підкладка – Si), для дослідження електрофізичних або оптичних властивостей (ситал або скло, кварц). При іонно-плазмовому розпиленні графітової мішені використовуються постійний струм і робоча атмосфера у вигляді аргоноводневої плазми (у співвідношенні NAr:NC=7:1) при тиску 7?10-1 Па.

Плівки а-С:Н отримуються плазмово-хімічним методом у плазмі високочастотного розряду при розкладанні газової суміші 10% CH4+90%Ar (підкладка – Si, кварц, Тп @ 500 К). Товщина плівок, отриманих таким методом, має величину 0,2-1 мкм, а питомий опір при Т = 300 К – (1016 – 1019) Ом?м. Осадження а-С:Н відбувається при енергії іонів порядку декількох десятків еВ. При більш низьких енергіях і Тп < 170 К відбувається утворення полімеро-подібних С:Н плівок. У цьому випадку як робочий газ використовується бутан.



загрузка...