загрузка...
 
3.3  Залежність коефіцієнта відбиття від енергії та кута нахилу пучка
Повернутись до змісту

3.3  Залежність коефіцієнта відбиття від енергії та кута нахилу пучка

Як було показано раніше, розмір області взаємодії істотно залежить від енергії електронного пучка. Цим має бути викликана й енергетична залежність коефіцієнта відбиття. Але експериментальні результати показують, що коефіцієнт відбиття при ? ? 40° фактично не залежить від енергії пучка, оскільки його зміна становить лише 10% (рис. 1.10).

При збільшенні кута нахилу розмір області взаємодії зменшується. Це пов’язано зі збільшенням імовірності розсіювання електронів за напрямком первинного руху. При великих кутах нахилу електрони у мішені рухаються ближче до поверхні. Це призводить до збільшення ймовірності їх виходу за межу зразка.

Як бачимо з рисунка 1.10, при кутах нахилу до 20-30° зміна h зі збільшенням кута є незначною. При збільшенні

 

Рисунок 1.10 – Залежність h від Q [2] 

кута до 90°, значення h прямує до одиниці. Для нахилених пучків коефіцієнт відбиття описується таким співвідношенням

      ,                     (1.14)

де .



загрузка...