Електрони, що покидають зразок, бувають двох типів з різко відмінними властивостями. Вторинні електрони емітуються мішенню з енергією, максимум якої припадає на 3-5 еВ. Відбиті електрони мають широкий спектр енергій від нуля до енергії пучка. Для матеріалів з середніми та високими атомними номерами розподіл відбитих електронів має максимум, який становить
(0,8-0,9)Е0. Для того щоб сформувати зображення у РЕМ, інформацію від електронного сигналу необхідно перевести в електричний сигнал. Для цього потрібні відповідні детектори.
Будь-яку детекторну систему характеризують три важливі параметри:
кут ?, під яким детектор приймає сигнал;
тілесний кут збору: ? =S/r2, де S – площа детектора, r – відстань від точки падіння електронного пучка до детектора;
відсоток електронів, що потрапляють на детектор.
На випадок плоского зразка, розміщеного перпендикулярно до пучка електронів, зміст кутів ? та ? можна зрозуміти з рис. 2.10.
Рисунок 2.10 – До пояснення поняття збору електронів