Зразок являє собою вузол (рис. 2.13), у який входять (івх=із) та виходять (івих=ів+іве+іп) електричні струми (ів, іве, іп – струми відбитих, вторинних та тих, що пройшли мішень (поглинутих мішенню), електронів. Усі електрони, незважаючи на їх енергії, еквівалентні, оскільки, за визначенням, струм – це заряд, що переноситься за одиницю часу. Для зразка у РЕМ струми мають такі величини: ів= 0,3із, іве= 0,1із. З урахуванням цього сумарний струм електронів, що покидають поверхню зразка, становить 0,4із. Якщо зразок не електропровідний або не заземлений провідник, то у цьому випадку івх>івих, тобто він буде заряджатися. Стікання заряду можна забезпечити за допомогою звичайного заземлення. У цьому випадку струм електронів іп (його часто називають струмом мішені) становитиме із-ів-іве. Таким чином, баланс струмів матиме той вигляд, який задовольняє закон Кірхгофа, а саме: івх= івих; із= ів+іве+іп..
Рисунок 2.13 – Ілюстрація вхідних та вихідних струмів зразка
Для того щоб використати у ролі сигналу струм електронів, що поглинаються, він повинен пройти “шлях” на землю через операційний підсилювач, який може працювати зі струмами менше 10-11 А і мати широку смугу пропускання.
Щоб позбутися струму вторинних електронів, на зразок подають потенціал +50 В. Тоді баланс струмів матиме вигляд із= ів +іп.
