Рекомендовано Міністерством освіти і науки України як навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом “Електронні пристрої та системи”
Суми Вид-во СумДУ 2007
УДК 621.385.833(075.8)
П 84
Рекомендовано Міністерством освіти і науки України (лист № 14/18–Г–2135 від 30 листопада 2007 р.)
Рецензенти:
д-р фіз.-мат. наук, проф. Г.С. Воробйов (Сумський державний університет);д-р фіз.-мат. наук, проф. М.О. Галущак (НТУ нафти і газу, м. Івано-Франківськ);канд. техн. наук, доц. С.П. Зелев (ВАТ «СЕЛМІ», м. Суми)
Проценко І.Ю., Чорноус А.М., Проценко С.І.
П 84 Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів /За загальною редакцією проф. І.Ю. Проценка: Навчальний посібник. - Суми: Вид-во СумДУ, 2007.-264 с.
ISBN 978-966-657-157-4
У навчальному посібнику розглянуті питання будови та принципу роботи електронно-променевих і спектральних приладів, таких, як просвічуючі та растрові електронні мікроскопи, електронографи, рентгенівські апарати, прилади мікрорентгенівського аналізу, оже-електронної спектроскопії та вторинно-іонної мас-спектрометрії. Викладені експериментальні методи дослідження кристалічної будови та хімічного й елементного складу плівкових матеріалів.
Навчальний посібник призначено для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом “Електронні пристрої та системи”.