Бурхливий розвиток різних галузей плівкового матеріалознавства (мікро- і наноелектроніка, мікроприладобудування, сенсорна техніка) є постійним стимулом розвитку необхідної експериментальної техніки. Мова йде насамперед про сучасні методи просвічуючої і растрової електронної мікроскопії високої розрізнювальної здатності, про методи аналізу хімічного та елементного складу плівкових матеріалів. Поряд з цим методи електронографії, дифракції повільних електронів, рентгено-фазового аналізу, які були достатньо розвинутими ще до появи ПЕМ, РЕМ і різних спектральних методів аналізу (РМА, ОЕС, РОР, ВІМС і т.п.), не втрачають своєї значущості, а у сукупності зі зазначеними сучасними методами стають ще більш ефективними. Мета даного посібника полягає у вирішенні двох завдань – узагальненні широкої інформації про будову та принцип роботи електронно-променевих і спектральних приладів та у викладенні експериментальних методів аналізу кристалічної структури, фазового й хімічного складу методами ПЕМ, РЕМ, РМА, ОЕС, ВІМС та іншими сучасними методами.
Автори адресують посібник студентам і аспірантам фізико-технічних спеціальностей, проте він може знайти свого читача і серед викладачів ВНЗ та науковців.
Нами був використаний багаторічний досвід читання курсів “Електронні та іонні прилади” і “Прилади і методи дослідження” на старших курсах спеціальності “Електронні прилади і пристрої”.
Ми хочемо подякувати рецензентам проф.
Воробйову Г.С., проф. Галущаку М.О. і доц. Зелеву С.П. за цінні зауваження щодо змісту посібника, а також аспірантам Лисенко М.О., Пазусі І.М., Степаненку А.О. та інженеру Ткач О.П. за неоціниму допомогу при підготовці рукопису до друку.