загрузка...
 
3 Основи вторинно-іонної мас-спектрометрії (ВІМС) 3.1 Загальна характеристика вторинно-іонного мас-спектрометра
Повернутись до змісту

3 Основи вторинно-іонної мас-спектрометрії (ВІМС) 3.1 Загальна характеристика вторинно-іонного мас-спектрометра

Мас-спектрометр вторинних іонів забезпечує:

контроль хімічного та елементного складу поверхні металів, напівпровідників, тонких плівок, покриттів, композиційних матеріалів;

пошаровий аналіз;

дослідження процесів корозії, поверхні та об’ємної дифузії.

Безсумнівною перевагою цього методу порівняно із іншими спектральними методами є отримання прямої інформації про елементний склад зразків.

Серійні прилади, які випускає ВАТ “SELMI” (м. Суми), мають дві модифікації (таблиця 7.1).

Таблиця 7.1 – Основні параметри мас-спектрометрів вторинних іонів

№/№

Параметри

МС-7201

МС-7201М

1

 

2

3

4

 

Розрізнювальна здатність (?М/М)

Діапазон масових чисел

Чутливість, А

Струм пучка первинних іонів, мкА

2,1 М

 

1 – 200

10-12

5

3,0 М

 

1–250

2·10-12

15

Мас-спектрометр складається із таких основних вузлів: камери-шлюзу, іонної гармати, аналізатора, вторинної оптики, системи підсилення і реєстрування сигналів. На рис. 7.14 зображений зовнішній вигляд приладу МС-7201, а на рис. 7.15 – його схема, із якої можна зрозуміти принцип роботи приладу.

Первинний пучок іонів із Н2, О2 або Ar утворюється в джерелі з розрядом Пеннінга, формується електро-

 

Рисунок 7.14 – Зовнішній вигляд мас-спектрометра вторинних іонів МС-7201

статичною лінзою і потрапляє на поверхню зразка. З його поверхні вибиваються вторинні іони, фокусуються лінзою і направляються в мас-аналізатор. Розподілені за атомними числами (а.о.м.)  іони надходять в іонно-електронний перетворювач, далі в перемножувач (ВЕП), підсилювач постійного струму і пристрій реєстрації.

 

 

Рисунок 7.15 -  Блок-схема мас-спектрометра вторинних іонів: 1 – ВЕП; 2 – відбивачі; 3 – іонно-електронний перетворювач; 4 – аналізатор; 5 – джерело первинних іонів; 6 – напуск газу; 7 – електростатична лінза для фокусування первинних іонів; 8 – об’єктивна лінза; 9 – зразки; 10 – поворотний пристрій предметного столика



загрузка...