Технологія одержання і застосування плівкових матеріалів
Рекомендовано Міністерством освіти і науки України як навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів
Суми Вид-во СумДУ 2008
УДК 621.793+538.975
П 84
Рекомендовано Міністерством освіти і науки України (лист № 1.4/18-Г-2107 від 29 листопада 2007р.)
Рецензенти:
д-р фіз.-мат.наук, проф. Г.С. Воробйов
(Сумський державний університет, м. Суми);
д-р фіз.-мат.наук, проф. М.О.Галущак
(НТУ нафти і газу, м. Івано-Франківськ);
канд.фіз.-мат.наук С.М.Данильченко
(Інститут прикладної фізики НАН України, м.Суми)
Проценко І.Ю., Шумакова Н.І.
П 84Технологія одержання і застосування плівкових матеріалів:
Навчальний посібник. - Суми: Вид-во СумДУ, 2008.- 198 с.
ISBN 978-966-657-162-8
У навчальному посібнику розглянуті технологічні основи одержання металевих, алмазоподібних і споріднених з ними плівок, їх особливості та фізичні властивості. Навчальний посібник призначений для студентів та аспірантів вищих навчальних закладів освіти.