Технологія одержання і застосування плівкових матеріалів - Проценко І.Ю., Шумакова Н.І.

Анотація

Зміст

ПЕРЕДМОВА

Частина 1 Технологія одержання та вимірювання товщини тонких плівок Вступ

Розділ 1 Методи одержання плівкових матеріалів 1 Основи термодинаміки та кінетичної теорії газів

Рівноважний тиск пари

1.2 Розподіл атомів пари за швидкостями

1.3 Механізми випаровування рідин та твердих тіл

2 Конструкції термовипарників та їх застосування 2.1 Загальна інформація

2.2 Випаровування із дротів та металевої фольги

2.3 Випаровування із тиглів, матеріали тиглів

2.4 Випаровування матеріалів електронно-променевими методами

3 Вакуумно-плазмова технологія

4 Плазмові випарники

4.1 Випарники з випаровуванням матеріалу катода

4.2 Вакуумно-дугові випарники

4.3 Випарники з випаровуванням матеріалу анода

4.4 Електронно-променеві випарники

5 Метод іонного та реактивного розпилення

5.1 Іонне розпилення

5.2 Реактивне розпилення

6 Особливості випаровування сплавів та хімічних сполук

7 Методи контролю товщини плівок

7.1 Мікрозважування

7.2 Метод кварцового резонатора

7.3 Оптичні методи

7.4 Інші методи

Розділ 2 Технології осадження алмазоподібних матеріалів на основі карбону Загальна інформація

8 Характеристика елемента карбону

9 Класифікація алотропів карбону

10 Фізичні властивості алотропів карбону

11 “Метастабільність алмазу” та шляхи його одержання

12 Хімічний синтез алмазу

13 До історії розвитку хімічного синтезу алмазу

14 Методи одержання алмазоподібних плівок

14.1 Термохімічні методи осадження

14.2 Електророзрядні методи

14.3 Комбіновані розряди

14.4 Методи одержання АПП на атмосфері

15 Методи одержання гідрогенезованих аморфних С:Н плівок

16 Методи одержання ультрадисперсних алмазів (УДА) і наноалмазів (НА)

Семінарські заняття

18 Хімічний склад і кристалічна структура

18.1 Нітрид титану

18.2 Карбід вольфраму

Список літератури

Частина 2 Взаємний зв'язок між умовами одержання тонких плівок та ЇХ особливостями Розділ 4 Механізми конденсації та росту тонких плівок 19 Уявлення про адатом, кластер та критичний зародок

20 Залежність розміру критичного зародка від матеріалу плівки та підкладки

21 Механізми конденсації плівок, їх узагальнена діаграма

22 Чотири стадії росту плівки

22.1 Утворення острівців

22.2 Коалесценція острівців

22.3 Утворення каналів

22.4 Утворення суцільної плівки

23 Критична товщина і критична температура конденсації

Розділ 5 Дефекти, макронапруження і процеси старіння  24 Утворення дефектів у процесі росту плівки

24.1 Дислокації

24.2 Межі зерен

24.3 Шорсткість та пористість конденсатів

25 Епітаксіальний ріст плівок

25.1 Зародження епітаксіальних частинок

25.2 Механізми епітаксіального росту

26 Змінювання параметра решітки, псевдоморфний ріст плівок

27 Види спряжень кристалів при епітаксіальному рості

28 Субструктура полікристалічних плівок

29 Нанокристалічні та аморфні матеріали

30 Внутрішні макронапруження в конденсатах 30.1 Вплив температури підкладки

30.2 Причина виникнення макронапружень у плівках

30.3 Вплив товщини плівок, швидкості конденсації та термообробки

30.4 Розрахунок величини ST

30.5 Методи вимірювання S

Вплив іонного бомбардування підкладки на властивості плівок

32 Процес старіння в тонких плівках

Список літератури до частини 2

Частина 3 ЗАСТОСУВАННЯ ПЛІВКОВИХ МАТЕРІАЛІВ Вступ

Розділ 6 Датчики температури Загальна інформація

Датчики температури із платини та нікелю

Термопари

Терморезистори із від’ємним і додатним термічним коефіцієнтом опору

Задачі та тематика семінарських занять

Розділ 7 Датчики тиску Кремнієві датчики

37 Датчики на основі металевої плівки

Розділ 8 Газові датчики та датчики вологості

38 Термокондуктометричні та термохімічні комірки

39 Тонкоплівкові газові датчики

40 Датчики вологості

Розділ 9 Тензодатчики та датчики магнітних характеристик на основі масивних і плівкових матеріалів 41 Уявлення про тензоефект

42 Перетворення деформації тензорезистором

43 Передача деформації чутливому елементу тензорезистора

44 Металеві тензодатчики

45 Напівпровідникові та полімерні тензорезистори

46 Магніторезистивні датчики

47 Датчики Холла

Задачі

Список літератури до частини 3