загрузка...
 
14 Методи одержання алмазоподібних плівок
Повернутись до змісту

14 Методи одержання алмазоподібних плівок

Перспектива широкого застосування АПП стимулює розвиток методів їх одержання. Всі методи умовно поділимо на дві групи: вакуумні та атмосферні (рис.1.20).

Для всіх методів існують загальні умови, що дозволяють конденсувати переважно алмазну фазу вуглецю. До таких умов відносять: високий ступінь нерівноважності середовища; наявність у газовому середовищі вуглецю і значної кількості атомарного водню; температуру підкладки від 80 до 1600 К та ін. Робоча суміш містить гази СН4, С2Н4, С2Н2 (0,1-15 об. %), водень (10-99 об. %), аргон (0,1-80 об. %), а також інколи кисень (до 0,5 об.). Джерело вуглецю має забезпечити потік атомів або іонів вуглецю з густиною струму 0-10 mA/см2 з енергією частинок не більше 100 еВ. Матеріалом підкладки можуть бути кварц, скло, Al2O3, Ge, Si, Mo, Ti, Nb, Ni, GaAs, NaCl тощо.

 

Рисунок 1.20 – Класифікація методів одержання АПП



загрузка...