Для реального кристала є характерним порушення періодичної структури кристалічної решітки. З точки зору лінійних розмірів дефектів решітки їх можна класифікувати таким чином:
нульовимірні, або точкові (вакансії, міжвузлові та домішкові атоми, пари Френкеля);
одновимірні, або лінійні (крайові та гвинтові дислокації);
двовимірні, або поверхневі (межа зерен і двійників, дефекти пакування, міжфазні та малокутові границі);
тривимірні (пори, тріщини).
Якщо розглядати будову кристаліту (зерна), то він складається з субзерен (їх ще називають областями когерентного розсіювання (ОКР), або блоками мозаїки). Окремі блоки мозаїки розбиваються на менші ділянки дислокаціями (це можуть бути як малокутові, так і великокутові межі). Густина дислокацій в субмежі досягає величини 1016 м-2, в той час як в об'ємі субзерна - 1014 - 1015 м-2. Вони створюють в об'ємі субзерна поле напружень, що призводить до зміни міжплощинних відстаней та мікродеформацій.
Субструктура тонких плівок, як і масивних кристалів, вивчається методами електронної мікроскопії та за шириною, профілем і формою дифракційних ліній на електрограмах та рентгенограмах. Таблиця 2.4 дає уявлення про середні розміри субзерен та їх взаємне розорієнтування (g)
Таблиця 2.4 -Експериментальні дані про субструктуру полікристалічних плівок Al та Ag
Алюміній
Срібло
d, нм
L, нм
g, град.
d, нм
L, нм
g, град.
15
22
1,6
-
-
-
40
26
1,5
-
-
-
45
27
3,2
55
28
1,5
-
-
-
75
32
1,9
-
-
-
у плівках алюмінію та срібла. Той факт, що при d = 15 нм (плівка Al) середній розмір субзерна L=22 нм більший за товщину, говорить про те, що при відносно малих товщинах (і це стосується не тільки плівок алюмінію) кристаліти мають форму пластинки з L>d, а за товщиною плівка моноблочна.
Збільшення товщини, як правило, призводить до немоноблочності за товщиною, хоча у плівок різних металів це відбувається в різних інтервалах товщин. Наприклад, у плівках золота при 10