загрузка...
 
2.2 Випаровування із дротів та металевої фольги
Повернутись до змісту

2.2 Випаровування із дротів та металевої фольги

Найбільш прості випарники з дротів та металевої фольги з резистивним нагріванням показані на рисунку 1.4. Матеріалом для них є метали з високою температурою плавлення (TS ) та  низьким тиском насиченої пари.

Найбільш широко застосовуються W, Mo, Ta (товщина фольги або дроту 0,1-0,4 та 0,5-1,5 мм відповідно). При використанні перших двох випарників (рис.1.4 а та б) необхідно, щоб матеріал плівки змочував дріт й утримувався на ньому за рахунок поверхневих сил. Випарник у вигляді кошика (рис. 1.4 в) використовується для випаровування кусочків металів та діелектриків, які можуть сублімувати. Різновидом випарника з непрямим нагріванням для туго-плавких металів є система двох дротів, які мають точковий контакт (рис. 1.5). Цей метод успішно застосував один із авторів даного посібника для одержання досить-таки чистих плівок Mo, W, Ta.

Рисунок 1.4 - Випарники з дротів та металевої фольги з непрямим нагріванням: а- у вигляді петлі; б- зі спіралі; в-кошик; г- човник із фольги з заглибленням; д- із фольги, покритої Al2O3; е- типу "каное"

Для утворення рідкої перемички через контакт необхідно пропускати струм від 50 до 100 А при діаметрі дроту від 0,5 до 1,0 мм. Для зменшення теплопідводу в місцях контакту можна зробити тоненькі перешийки поблизу кінців металевих дротів.

 

Рисунок 1.5 - Схема випаровування тугоплавких металів за методикою Ніколсона

Випарники з фольги у вигляді човників (рис. 1.4 г-е) розраховані на більшу масу (декілька грамів) наважки матеріалу плівки. У центральній частині ширина фольги   зменшується для підвищення температури в місці випаровування. Їх, як і попередній тип випарників, можна виготовляти в лабораторних умовах із фольги Mo, W, Ta. Однак  слід пам'ятати, що W дуже крихкий і легко ламається, а також те, що всі три метали стають крихкими після нагрівання у вакуумі.

Інколи плівки тугоплавких металів одержують за допомогою електричної дуги між дротами, як прийнято одержувати плівки вуглецю. Можна також використовувати випарники типу а, б (рис. 1.4) за безпосереднього нагрівання дроту із матеріалу плівки.



загрузка...