Розглянемо більш детально, як визначається маса плівки в методі мікрозважування, який є різновидом вагового методу. Основним робочим елементом пристрою є крутильні мікротерези, що дозволяють визначати вагу моноатомної плівки площею ~1см2. Плівка осаджується на слюдяну фольгу, яка підвішується вертикально на нитці. У результаті осадження плівки приводиться в рух невелике дзеркальце, зв'язане з коромислом терезів, на яке потрапляє промінь світла. За зміщенням світлового зайчика на шкалі можна визначити зміщення коромисла, тобто визначити масу. Як правило, в мікротерезах передбачена компенсація зміщення коромисла за допомогою електромагніту. У цьому випадку терези можуть використовуватися як прилад з нульовим відліком.