30.3 Вплив товщини плівок, швидкості конденсації та термообробки

Напруження у конденсатах не виникають до того часу, поки плівка не стає структурно суцільною (при товщині d~10 нм). Вимірювання на плівках Cu, Ag та Au свідчать, що при збільшенні товщини від 100 до 200 нм макронапруження спочатку різко зростають, а потім стабілізуються. Відомі також результати, згідно з якими збільшення товщини плівки при високих Т спричинює до розтріскування плівки під дією структурних макронапружень.

Питання про вплив швидкості конденсації (w) на величину макронапружень є найменш вивченим. Однак існують дані про те, що збільшення w викликає збільшення додатних напружень. Так, наприклад, при збільшенні швидкості конденсації плівок міді удвічі (Тп @ 300 К ) величина S також збільшується удвічі.

Термообробка (відпалювання) плівок знижує рівень макронапруження структурного походження. Згідно з теорією Гоффмана існує критична температура відпалювання (Тв*), яка задовольняє такі умови: Тп  і Тв < Тв* - величина S зменшується, Тп і Тв > Тв* - величина S збільшується.

Температура Тв* тим вища, чим вища температура плавлення масивного металу.