Розділ 1 Методи одержання плівкових матеріалів 1 Основи термодинаміки та кінетичної теорії газів
Перехід твердого тіла або рідини в газоподібний стан можна описати як з макроскопічної, так і мікроскопічної точки зору. У першому випадку використовується термодинамічний підхід і розглядаються такі кількісні характеристики, як швидкість випаровування, взаємодія між атомами речовини, що випаровується, і випарника тощо. У другому випадку опис базується на кінетичній теорії газів, яка, між іншим, застосовується також при розгляді процесу відкачування газів із вакуумної камери.