До таких методів ми відносимо метод одержання АПП у полум’ї або бар’єрному розряді.
У першому випадку синтез полікристалічних АПП відбувається зі швидкістю близько 25 нм/с при горінні ацетилену в кисні при атмосферному тиску.
Другий метод був запропонований у 1993 році Шварцем і Салгом. Суть його полягає в наступному.
Реакційна камера (рис. 1.22), що складається із двох
Рисунок 1.22 – Схема нанесення АПП у бар’єрному розряді плоскопаралельних електродів 1 і 2, між якими розміщується діелектричний бар’єр 3 (скляна пластина товщиною 1,5 мм), і вакуумно-ущільненого (6) газового проміжку 4 (товщина 1 мм), через який прокачується (5) реактивний газ (CH4, C2H2, C2H2+H2, C2H2+Ar).
Тиск у камері – атмосферний. При подачі на високовольтний електрод однополярних мікросекундних імпульсів напруги в 100-200 мкс, амплітуди від -17 до +17 кВ і частотою повторення 0,2-3 кГц, у газовому проміжку виникає бар’єрний розряд. Реактивний газ дисоціює, а із утворених радикалів на бар’єрі і на заземленому електроді осаджується АПП.
Таким методом були одержані АПП плівки: із метану при Н/С = 1,04 і sp3=100%, а із суміші 5% C2H2+95% H2 при Н/С = 0,73 і sp3: sp2 = 68%:32%.
