27 Види спряжень кристалів при епітаксіальному рості
У теорії епітаксіального росту Франка та Дж. ван дер Мерве аналізується питання про можливі способи компенсації невідповідності періодів решіток кристалів, що спрягаються. Розглянемо лише основні висновки цієї теорії.
Згідно з Франком та Дж. ван дер Мерве невідповідність решіток виникає не лише на межі підкладка-епітаксіальна плівка (площина ху), а й на межі спряження окремих епітаксіальних кристалів (площина уz). Невідповідність як для горизонтальних, так і вертикальних меж спряження виникає через відмінність решіток з такими характеристиками:
період кристалічної решітки;
їх взаємне зміщення;
кут повороту;
симетрія граней, що спрягаються.
Компенсація невідповідності в цих випадках відбувається за допомогою таких механізмів (див. також підрозділ 25):
завдяки пружній деформації;
за допомогою точкових дефектів;
завдяки дислокаціям невідповідності;
шляхом утворення двовимірних дефектів (межа двійникового типу та типу великокутової межі зерен).