Теоретичні розробки та електронно-мікроскопічні дослідження свідчать про таку послідовність утворення плівки:
утворення адатомів на підкладці;
утворення кластерів із декількох адатомів;
утворення зародків критичного розміру;
ріст цих зародків до надкритичних розмірів зі збідненням адатомами зон захоплення навколо зародка;
утворення критичних зародків на не збіднених адатомами місцях;
зрощення зародків і утворення острівців, що займають площу меншу, ніж сумарна площа, яку займали зародки;
вторинний процес утворення зародків на звільнених ділянках підкладки;
зрощення великих острівців з утворенням каналів на підкладці;
заростання каналів у результаті процесу вторинного зародкоутворювання.
Перелічені дев'ять етапів утворення плівки Д.Пешлі узагальнив у вигляді чотирьох стадій росту плівки:
утворення зародків та острівців;
зростання (коалесценція) острівців;
утворення каналів;
перехід до структурно суцільної плівки.
Розглянемо більш детально ці чотири стадії.