загрузка...
 
4 Плазмові випарники
Повернутись до змісту

4 Плазмові випарники

Плазмовими випарниками називаються джерела плазми пари твердого тіла. Класифікуються вони за типом   електрода, що випаровується, а саме:

з випаровуванням матеріалу (робочої речовини) катода;

з випаровуванням матеріалу анода;

з випаровуванням матеріалу нейтрального електрода   (електронно-променеві випарники).

Розглянемо кожен тип плазмових випарників.



загрузка...