Плазмовими випарниками називаються джерела плазми пари твердого тіла. Класифікуються вони за типом електрода, що випаровується, а саме:
з випаровуванням матеріалу (робочої речовини) катода;
з випаровуванням матеріалу анода;
з випаровуванням матеріалу нейтрального електрода (електронно-променеві випарники).
Розглянемо кожен тип плазмових випарників.