Методика із застосуванням комбінованих розрядів має два різновиди: іонно-променеве осадження і тліючий розряд постійного струму плюс низькочастотний високовольтний розряд.
У першому випадку вуглець осаджується із іонних пучків з енергією 20-100 еВ і магнітною сепарацією іонів за масами (установкою є мас-спектрометр). Сформований пучок іонів перед осадженням уповільнюють, що дозволяє проводити процес осадження при температурі підкладки 300 К.
Як різновид цього методу реалізується при опроміненні сконденсованої плівки вуглецю пучком іонів інертного газу (співвідношення Ar+/С?5) при енергії іонів
0 – 200 еВ і густині струму 5?10-5-10-4А/см2.
Відомий також спосіб одержання АПП із використанням комбінованого розряду: тліючий розряд постійного струму плюс низькочастотний (15-20 кГц) високовольтний розряд. У реакторі запалюється тліючий розряд постійного струму (суміш метану (5-35 об.%) та водню) і на один електрод подається низькочастотна напруга до 20 кВ при силі струму 5 мА.