30.5 Методи вимірювання S

30.5 Методи вимірювання S

Макронапруження у конденсованих плівках найчастіше визначають механічним способом, при якому знаходиться деформація підкладки в процесі осадження плівки. Як правило, використовують один із варіантів цього способу - метод Стоні, при якому вимірюється зміщення (d)  вільного  кінця консольно закріпленої вузької підкладки (рис.2.11). За умови, що d< d

S = (ED2d)(3dl)-1 ,                               (2.8)

де Е - модуль Юнга для плівки, який вибирається таким, як у масивних зразках; d і D – товщина плівки і підкладки.

 

Рисунок 2.11 -Схема деформації підкладки консольного типу

Зміщення d можна вимірювати за допомогою оптичного мікроскопа або контактометра. На даний момент розроблені більш досконалі методи вимірювання зміщення кінця підкладки:

за допомогою електромагніту, який повертає підкладку у вихідне положення;

за вимірюванням зміни ємності конденсатора або індуктивності котушки;

за допомогою інтерферометра та ін.