Частина 1 Технологія одержання та вимірювання товщини тонких плівок Вступ

Сконденсовані металеві плівки вперше були одержані в 1857 році М. Фарадеєм під час проведення ним дослідів із руйнування в атмосфері інертних газів металевих дротів при пропусканні через них електричних струмів. Подальші експерименти в цьому напрямку обумовлювалися насамперед практичними потребами у виготовленні оптичних та астрономічних приладів (дзеркала, інтерферометри та ін.). До 1940-х років тонкі металеві плівки здебільшого використовувалися для наукових (металознавчих) досліджень. Проте з удосконаленням вакуумної техніки, коли з’явилася можливість організувати масове виробництво та контроль властивостей тонких плівок, почалося їх впровадження у промисловість. Останніми роками галузь застосування плівок значно розширилася, причому на різних рівнях: від сонячних окулярів до елементів мікросхем.

Розпочаті у 1950-60 роках дослідження синтезу алмазу стимулювали розвиток методів одержання алмазних, алмазоподібних і споріднених з ними плівкових матеріалів. Особливу увагу дослідники приділяють алмазоподібним плівкам, які мають унікальні фізичні властивості.

У першій частині посібника аналізуються різноманітні методи одержання металевих та алмазоподібних плівкових матеріалів: від історично перших методів випарування із дротів, фольги і тиглів до найбільш сучасних вакуумно-плазмових та дугових методів, електророзрядних, лазерних та іонних методів осадження.