Епітаксіальне вирощення є одним із методів одержання монокристалічних плівок. Процес епітаксії відомий уже більше 100 років. Він полягає в тому, що один матеріал росте орієнтовано (монокристалічно) на іншому матеріалі, і при цьому існує кристалографічна відповідність між підкладкою і плівкою (тобто певні кристалографічні площини та напрямки є паралельними). Епітаксія має такі різновиди:
автоепітаксія – орієнтований, або монокристалічний ріст плівки на підкладці із того самого матеріалу;
гетероепітаксія (власне, вона майже завжди називається епітаксією) - вирощення орієнтованої плівки на підкладці з іншого матеріалу.
У більшості випадків при епітаксії підкладками можуть бути такі іонні монокристали, як NaCl, KCl, KBr та інші.