30 Внутрішні макронапруження в конденсатах 30.1 Вплив температури підкладки
У вакуумних конденсатах при їх одержанні, обробці та збереженні виникають внутрішні макроскопічні напруження (S). Напруження можуть бути стискувальні (їх називають "від'ємними" і позначають "-") та розтягувальні (відповідно "додатні" та "+"). В окремих випадках вони сягають величини межі міцності плівки, що призводить до її руйнування шляхом розтріскування або відділення від підкладки. Із експериментальних результатів відомо, що зі збільшенням температури підкладки розтягувальні напруження зменшуються, досягають нульового значення і стають стискальними (рис. 2.10).
Рисунок 2.10 - Залежність величини і знака макронапружень у плівках міді від температури підкладки
Виникнення стискувальних напружень при відносно високих температурах підкладки пояснюється окисленням плівки. Для нормальних температур підкладки (300-600 К) типові величини S мають значення 107-109 Па, причому у плівках тугоплавких металів (Cr, Mo, W, Nb, Ta) величина S наближається до верхньої межі, а у відносно легкоплавких (Іn, Pb, Sn, Cu, Ag, Al) - до нижньої межі.
