загрузка...
 
ПЕРЕДМОВА
Повернутись до змісту

ПЕРЕДМОВА

У даному навчальному посібнику, призначеному студентам й аспірантам фізико-технічних спеціальностей університетів, розглядаються питання, пов’язані з технологією одержання та застосуванням різних плівкових матеріалів. Цей науково-технічний напрям бурхливо розвивається, що стало можливим після освоєння методів одержання з попередньо заданими фізичними властивостями. Він дав поштовх широкому застосуванню плівкових матеріалів у оптиці, космічній та атомній промисловості, у техніці надвисоких частот, як захисних покриттів, елементів мікроелектронних схем, датчиків неелектричних величин, у кріогенній та обчислювальній техніці.

Таким чином, інтерес до тонких плівок викликаний не лише завданнями металознавства, як це було історично започатковано, а й перспективою для інженерів, пов’язаною зі створенням на базі плівкових елементів нових електронних приладів.

Необхідно підкреслити, що тонкоплівкові матеріали мають фізичні властивості, які істотно відрізняються від аналогічних у масивних зразках. Це обумовлюється  двома головними причинами. По-перше, при одержанні плівки можна змінювати умови конденсації таким чином, що кристалічна структура зразка змінюватиметься від гранично неупорядкованого (аморфні та нанокристалічні матеріали) до досить-таки досконалого монокристалічного конденсату. По-друге, тонкий зразок (плівка, дріт, пластина) обмежений у розмірі в одному із напрямків, що приводить до появи ряду фізичних ефектів, які слабо виражені або взагалі не спостерігаються в масивних зразках. Такі явища, як відомо, одержали назву розмірних ефектів. Розмірні ефекти в найбільш широкому їх розумінні – це явища, які полягають у змінюванні фізичних властивостей при зміні розміру зразків у одному із напряків, унаслідок чого зростає внесок поверхневих процесів та поверхневих властивостей порівняно з об'ємними.

У першій частині посібника розглядаються два основні питання: методи одержання металевих вакуумних конденсатів та алмазних, алмазоподібних плівок і споріднених із ними матеріалів.

У другій частині проаналізовані питання взаємного зв’язку між умовами одержання плівок та їх особливостями (механізми конденсації та росту, дефектність кристалічної структури, стабілізація аморфного чи нанокристалічного стану та проблеми старіння вакуумних конденсатів).

Третя частина посібника присвячена проблемі застосування плівкових матеріалів як чутливих елементів датчиків  неелектричних величин (температура, тиск, вологість, деформація та ін.).

Автори висловлюють щиру подяку рецензентам, зауваження яких сприяли покращанню наукового і методичного рівнів посібника.



загрузка...