Крім розглянутих вище оптичних, на даний час розроблені й інші методи. Ми лише назвемо деякі з них. Насамперед це методи еліпсометрії, клина, імерсійної
Таблиця 1.3 -Загальна характеристика методів вимірювання товщини
Метод
Товщина
плівок, нм
Точність
вимірювання
Примітки
Багатопроменевий інтерферометр
2–2000
0,2 нм
Необхідні: сходинки, відбивне покриття, спектрограф. Метод дуже точний, але трудомісткий
Інтерферометрія Фізо
3–2000
1-3 нм
Необхідні: сходинки і відбивне покриття
Інтерферометрія
Майкельсона
30–2000
15–30 нм
Необхідна сходинка
Поляризаційна інтерферометрія
-
-
-
Еліпсометрія
0,1–1000
0,1 нм
Прозорі плівки. Математично дуже складний
Прилад з індикаторною голкою
2– без
верхньої
межі
10 %
Необхідна сходинка
Рентгенографічний
100-106
±5%
Підкладка повинна давати характеристичне випромінювання
Відбивання
? - променів
100–50000
±5%
Атомні номери матеріалів плівки та підкладки мають бути різними
спектрофотометрії та ін. Але, крім оптичних, відомі також інші методи вимірювання товщини.
В історичному плані їх розвитку можна вказати на такі: метод електроопору (за допомогою кривої градуювання для даного плівкового матеріалу товщина оцінюється виходячи із величини опору), механічній (за допомогою профілометра), радіаційний (виходячи із інтенсивності поглинання радіаційного випромінювання) тощо. Незважаючи на їх відносно низьку точність, вони ще знаходять своє практичне застосування.
Найбільш сучасним високоточним методом є метод малокутової рентгенографії (т. зв. рефлектометрія), який забезпечує точність порядку 0,1 нм. Цей метод особливо ефективно застосовується при вимірюванні товщини окремих шарів у плівкових мультишарах.
Слід підкреслити, що цифрові дані таблиці значною мірою залежать від матеріалу плівки, відтак їх необхідно розглядати як найбільш типові.