Макронапруження у плівкових зразках складаються із зворотної частини термічного походження, обумовленої різними температурними коефіцієнтами лінійного розширення плівки (a) та підкладки (aп), та незворотної, яка виникає при утворенні та анігіляції структурних дефектів. На думку деяких авторів, основний внесок у загальну величину S дають термічні макронапруження (SТ), а на думку інших - структурні (Sc). Незалежно від того, яку частку складають SТ чи Sc, можна записати
Sc = S - ST, (2.6)
де, як відомо, S - величина загальних макронапружень.
Дослідження показують, що додатні макронапруження в плівках обумовлені наявністю на межах зерен аморфної або нанокристалічної фази.